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平面伺服马达LMSP

平面伺服马达藉由空气轴承并整合位置感测器,可于单一定子上放置多颗动子。 • 双轴定位平台 • 整合位置感测器可作闭回路控制 • 采用空气轴承故无磨耗 • 磁场不外漏,不影响周围设备 • 无温升问题,系统精度相对稳定 • 可倒吊安装 0.001mm 重现精度 定子大面积 1000x1000mm 0.001mm 高分辨率

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